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面積（㎡）

潔凈度級別

100

10000

100000

300000

＜10

2~3

2

2

2

≧10~＜20

4

2

2

2

≧20~＜40

8

2

2

2

≧40~＜100

16

4

2

2

≧100~＜200

40

10

3

3

≧200~＜400

80

20

6

6

≧400~＜1000

160

40

13

13

≧1000~＜2000

400

100

32

32

≧2000

800

200

63

63

注：對于100級的單向流潔凈室（區(qū)）包括100級潔凈工作臺，面積指的是送風口表面積；對于10000以上的非單向流潔凈室（區(qū)），面積指的是房間面積。

最小采樣量（L/次）

潔凈度級別

100

10000

100000

300000

≥0.5μm

5.66

2.83

2.83

2.83

≥5μm

8.5

8.5

8.5

8.5